主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2017年度精密工学会春季大会
開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15
東京理科大 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
オーテックス
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UV照射により微細なパターンを転写する技術に、UV-NIL(ナノインプリントリソグラフィ)がある。UV-NILによりピラー形状のレプリカモールドを作製し、このレプリカモールドを用いてUV-NILを行った。このレプリカモールドがどれくらい持つか繰り返しUV-NILを行うことにより耐久性を評価し,転写物にどれくらい欠損があるかエラー率を測定した.転写樹脂の離型成分を添加することでレプリカモールドの耐久性を向上させ,エラー率を低下させた.
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