エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第25報） 機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発

鈴木 裕貴; 松本 侑己; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_243

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_243

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第25報）

機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発

*鈴木裕貴, 松本侑己, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: エバネッセント光, 微細加工, 3Dプリンタ, マイクロ光造形, 多光束干渉

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抄録

サブミクロンオーダの加工分解能を持つ高速3次元造形法を実現するため，本研究ではエバネッセント光を用いた光造形法を提案している．これまでの報告で，生物の持つ機能的な表面微細構造を模倣するため，複数の光束の干渉を利用する手法を提案し，理論解析と基礎実験を進めてきた．本報では，機能性を評価するのに必要な数ミリメートルオーダの加工領域を持つ造形装置の開発について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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