主催: 公益社団法人精密工学会
長岡技科大 大学院 機械創造工学専攻
長岡技科大 大学院 博士課程
長岡技科大 工学部 機械創造工学課程
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前報までの変位センサの構成はフォトダイオードを4個×3セット使用しアライメントが困難であった．また，得られるリサージュダイアグラムはスピンドルの回転に伴い中心，半径が変動した．本報では周波数可変レーザを用いた正弦波位相変調法を採用し，センサ1セットに対しフォトダイオードを2個とした．干渉縞信号を同期検波することで90°位相の異なる2つの正弦波を得た．さらに，リサージュダイアグラムを規格化した．
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