高精度CMMの開発（第5報） ヨーイング誤差およびアライメント誤差の評価

高村 智彦; 鳥山 陽平; 楊 平; 高橋 哲; 高増 潔; 佐藤 理; 大澤 尊光; 高辻 利之

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.858.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: N17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.858.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

高精度CMMの開発（第5報）

ヨーイング誤差およびアライメント誤差の評価

*高村智彦, 鳥山陽平, 楊平, 高橋哲, 高増潔, 佐藤理, 大澤尊光, 高辻利之

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キーワード: 多点法, 干渉計, オートコリメータ, 三次元測定機, CMM

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抄録

高精度三次元測定機(M-CMM)の開発のためには，ステージの運動学誤差の評価が重要である．本研究ではそのための校正手法として，走査ステージの運動学誤差と参照ミラー形状を分離できる多点法を提案する．前報では，ヨーイング誤差に由来する系統誤差を確認した．本報ではヨーイング誤差およびアライメント誤差からなる非線形項を補正することで，系統誤差を低減する．

責任著者(Corresponding author)

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