主催: 社団法人精密工学会
東京工業大学 総合理工学部 メカノマイクロ工学専攻
東京工業大学 精密工学研究所
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本研究では、金を成膜したチップ上へ電子線描画によってレジストのナノ周期構造を形成し、その上に金を蒸着することでプラズモニッククリスタルを製作している。特定の微細パターンに起因する光の吸収が観察され、パターンサイズによってスペクトルのピーク位置が異なることを確認した。さらに、電界シミュレーションを用いることでセンサとして最適なパターン形状およびサイズを推定し、チップの評価を行った。
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