主催: 社団法人精密工学会
茨城大学 工学部 知能システム工学科
茨城大学 大学院理工学研究科 システム工学専攻
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本研究は，走査型プローブ顕微鏡を用いた局所陽極酸化によるナノパターンの創成を目的としている．本報告では，前報に引き続き，その基礎として，繰り返し陽極酸化加工と試料－プローブ間距離が陽極酸化パターンに及ぼす影響について調べた結果を報告する．
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