主催: 社団法人精密工学会
東京工業大学 大学院理工学研究科機械物理工学専攻
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微小物作製法の1つにレーザCVD法がある.本研究では,光源にアルゴンイオンレーザ,原料ガスとして主にエチレンを使用することで,炭素の造形を行った.レーザ出力,レーザ走査速度,雰囲気圧力等による生成物の形状および性質に対する影響について評価した.また,造形物の性質を利用した応用可能性についても検討した.
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