陰影領域回折像を用いた3次元微細形状情報の検出(II)

徳永 真治; 山岸 和仁; 金井 徳兼

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.430.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: H01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.430.0

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主催: 社団法人精密工学会

形状計測(1)

陰影領域回折像を用いた3次元微細形状情報の検出(II)

*徳永真治, 山岸和仁, 金井徳兼

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キーワード: 3次元, 光, 形状, 回折, 干渉

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抄録

一軸方向からの入射光によって平面上に点在する微小凸部がつくる陰影領域回折像を観測し,微小凸の回折像への影響を実験的に考察した.微小凸の作る陰影領域回折像の光強度分布の変化率や極大-極小間隔,n次の極大ピークの移動量から単数・複数個の微小凸部の3次元的位置情報を検出することを画像計測的に試み,有効な解析手法を検討した.

責任著者(Corresponding author)

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