主催: 社団法人精密工学会
群馬大学 工学部 電気電子工学科
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直動軸受の摩擦特性を光波干渉計を用いて高精度に評価する方法について論じる.特に,超精密位置決機構として,リニアモーターと組み合わせて用いられることの多い,静圧空気直動軸受の摩擦特性評価法について,詳細に論じる.
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