主催: 社団法人精密工学会
東京大学 人工物工学研究センター
神戸大学 自然科学研究科
ソニー マイクロシステムズネットワークカンパニー
神戸大学 学術情報基盤センター
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半導体生産システムは構成要素数が数百に達する大規模システムである。製造工程も数百に達し、さらに同じ工程を複数繰り返す複合プロセスであるため、そのプロセスフローは非常に複雑なものとなる。そのため既存の組合せ最適化問題として取り扱うことが困難であり、その生産計画や運用方法の開発が必要となっている。本研究では、自己組織化による自律分散シミュレーション手法を提案し、計算機実験によりその有効性を示す。
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