マイクロ電着工具の製作条件と加工特性

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: D07

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主催: 社団法人精密工学会

超音波振動を援用した加工技術（2）

マイクロ電着工具の製作条件と加工特性

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キーワード: 電着, ダイヤモンド

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抄録

NiめっきとNi-Wめっきの基礎的特性を示し、直径100μmの円筒状超硬合金台金にNi-Wによりダイヤモンドを電着した工具を製作する方法について検討した。また、その工具を用いてシリコンへの超音波振動溝加工を試み、工具寿命および加工精度を明らかにした。