マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
X線ドライエッチングを用いたPTFE微細加工
*山口 明啓, 竹内 雅耶, 内海 裕一
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p. 319-322

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