エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集
第24回エレクトロニクス実装学術講演大会
セッションID: 12A-09
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第24回エレクトロニクス実装学術講演大会
自己組織化ハニカムマスクを用いたバイオミメティック表面を有するシリコン基板の作製
平井 悠司仲道 裕貴藪 浩松尾 保孝居城 邦治*下村 政嗣
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抄録

生物は、蓮の葉の撥水性や蛾の目の無反射表面等に代表されるような機能的な表面をもつ。これらの表面はナノからマイクロメートルに至る階層的な構造を特徴としている。生物が有する微細な階層構造を模倣した次世代バイオミメティクス材料が世界的に注目されている。高分子の湿式製膜過程における結露現象を利用して自己組織化的に作製されるハニカム状多孔質高分子フィルムをマスクとしてシリコンのドライエッチングをすると、撥水性と無反射性を併せ持つ階層的な突起構造が形成されることを見いだした。

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© 2010 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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