センサアレイと集積回路の融合によるバイオ・医療用スマートマイクロチップ(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
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センサ・MEMSデバイスとLSIを一つのチップに融合することにより、これまでにない特徴を生み出し、これまで不可能であった計測を可能にし、新たな応用分野を開拓することができる.このようなチップをスマートマイクロチップと称している.ここではLSI技術とセンサ・MEMSデバイスが融合したことにより実現したデバイスとして、神経電位計測/薬液注入チップとpHイメージセンシングチップを紹介する
