映像情報メディア学会技術報告
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セッションID: IST2009-43
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埋め込みダイオードを用いた2段電荷転送型低雑音電子シャッタ(イメージセンサ一般(IISW報告会含む))
安富 啓太田村 俊博伊藤 真也川人 祥二
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抄録

本稿では,CMOSイメージセンサにおいて,グローバル電子シャッタを備えかつ低ノイズを実現できる新しい画素構造について述べる.提案する2段転送型グローバル電子シャッタは,異なる電位を持つ埋め込み型ダイオードを利用し,2段に電荷転送を行う.これにより,リセットノイズの除去および低暗電流特性が得られ,従来構造よりも大幅な低ノイズ化が可能となる.試作した高速度イメージセンサでは,スリット型フォトダイオードを用いることで,標準CMOSイメージセンサプロセスにおいて提案する画素構造を実現した.測定の結果,画素レベルでの入力換算ノイズは6.3電子であり,従来のグローバル電子シャッタ画素の3から4倍程度ノイズレベルを減少させることに成功した.また,低照度において,センサ出力が良好な線形性を示し,完全電荷転送がなされていることを確認した.

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© 2009 一般社団法人 映像情報メディア学会
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