応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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チャージポンピング法による単一界面トラップ(欠陥)の検出と評価
土屋 敏章
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2016 年 85 巻 5 号 p. 422-426

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抄録

チャージポンピング(CP)法を用いて,単一のMOS界面トラップを個別に検出して評価する手法を考案し,全く新しい視点でトラップ物理の解明を進めた.従来のCP理論の根幹であるトラップ1個当たりの最大CP電流ICPMAX=fqfはゲートパルス周波数,qは電子電荷)は誤りであり,0〜2fqのさまざまな値をとることを実証した.この結果は,界面トラップの正体がPbセンタであることを支持しており,さまざまなICPMAXを示す原因がトラップ準位対の形態の違いにあることを実証した.また,単一トラップのエネルギー準位密度分布(DOS)を導出し,Pb0センタのDOSと酷似していることを示すとともに,界面トラップのDOSはU字型とする定説に疑問を呈した.

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© 2016 公益社団法人応用物理学会
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