応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14p-B409-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

Si単結晶球体積測定のための40 GHz連続精密レーザー周波数掃引
*大久保 章, 倉本 直樹, 稲場 肇
著者情報
キーワード: 14p-B409-5, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, 屈折率・膜厚計測，距離・変位計測，速度計測，粒径計測，スペックル，散乱, レーザー周波数制御, 第2次高調波発生
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