応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14p-A305-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定技術の開発
*山下 拓真, 阿部 成海, 熊谷 祐希, 尾花 宏樹, 濱田 樹, 吉井 稜, 久保田 弘, 橋新 剛, 吉岡 昌雄
著者情報
キーワード: 14p-A305-8, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 金属-半導体界面/コンタクト, パルス光伝導法, 界面準位
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (349K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2020 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top