応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12a-A202-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の金属汚染評価
*尾花 宏樹, 阿部 成海, 熊谷 祐希, 山下 拓真, 小笠原 稜, 濱田 樹, 宮内 将成, 吉井 稜, 久保田 弘, 橋新 剛, 吉岡 昌雄
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キーワード: 12a-A202-7, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 新評価法, 半導体
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