パルス光伝導法を用いた非破壊界面準位密度測定のスループット向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18a-E303-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_2974

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

パルス光伝導法を用いた非破壊界面準位密度測定のスループット向上

*阿部成海, 熊谷祐希, 尾花宏樹, 山下拓真, 小笠原稜, 濱田樹, 吉井稜, 久保田弘, 橋新剛, 吉岡昌雄

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キーワード: 18a-E303-8, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 界面, パルス光伝導法

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