電子デバイス評価に向けた電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-C310-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1680

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

電子デバイス評価に向けた電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡の開発

*潤間威史, 佐藤宣夫, 山本秀和, 中澤謙太, 岩田太

著者情報

キーワード: 18p-C310-13, 薄膜・表面, プローブ顕微鏡, 走査型プローブ顕微鏡, 原子間力顕微鏡, 走査型電子顕微鏡, 半導体デバイス

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