塗布型粘土絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子の断面観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-C310-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1614

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

塗布型粘土絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子の断面観察

*丹羽英二, 林晋也, 須貝一郎, 野口幸紀, 飯島高志, 棚池修, 蛯名武雄

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キーワード: 21a-C310-2, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, 塗布型絶縁膜, 粘土, Cr-N薄膜

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