応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 11p-W541-8
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スパッタリング法により形成した GaN トンネル接合コンタクトの評価
*筆谷 大河上野 耕平小林 篤藤岡 洋
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