クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-135-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2777

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

*甲斐春貴, 阿部成海, 熊谷祐希, 岩村航, 久保田弘, 橋新剛, 吉岡昌雄

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キーワード: 21a-135-10, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 熱輸送シミュレーション, 半導体, シミュレーション

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