応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-212B-10
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原子層堆積法で成膜したNbN/AlN/NbN トンネル接合素子(NbN-STJ)の電流電圧特性評価
*浮辺 雅宏藤井 剛志岐 成友大久保 雅隆
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