原子ステップを有するポリマーシートへの超平坦導電性薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20p-B401-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1786

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

原子ステップを有するポリマーシートへの超平坦導電性薄膜の作製

*山田志織, 後藤里紗, 木下太一郎, 中村稀星, 金子智, 松田晃史, 吉本護

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キーワード: 20p-B401-9, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 熱ナノインプリント, 超平坦, ポリマーシート, 導電性薄膜

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