エピタキシャルリフトオフ法により分離したGaAs基板の表面清浄化手法の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-A34-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3031

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

エピタキシャルリフトオフ法により分離したGaAs基板の表面清浄化手法の検討

*木村大希, 宮下直也, 渡辺健太郎, ハッサネットソダーバンル, 中田達也, 杉山正和, 岡田至崇

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キーワード: 15p-A34-13, 半導体, 化合物太陽電池, III-V 族系太陽電池, エピタキシャルリフトオフ

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