全ALD構成水蒸気ハイバリア膜～膜構成とバリア性の関係～

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22p-H103-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1482

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

全ALD構成水蒸気ハイバリア膜～膜構成とバリア性の関係～

*座間秀昭, 本田和広

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キーワード: 22p-H103-7, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, 原子層堆積法, 水蒸気バリア膜, 水蒸気透過度

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