電子線描画装置を用いたパターニンググラフェンに関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-2Q-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1364

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

電子線描画装置を用いたパターニンググラフェンに関する研究

*伊崎貴生, 久保田弘, 松川誠也, 西口博樹, 正木良武, 吉岡昌雄

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キーワード: 13p-2Q-3, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, グラフェン, 電子線

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