応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12p-A29-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

HfO2/Al2O3/In0.53Ga0.47As界面に対する窒素プラズマクリーニング後の水素アニール効果に関する研究
*祢津 誠晃, 金澤 徹, 宮本 恭幸
著者情報
キーワード: 12p-A29-6, シンポジウム, 未来を担う若手科学者の在り方　～集積化技術の新たな価値創造を目指して～, HfO2, Al2O3, InGaAs
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