ダイヤモンド横型p-n接合についてケルビンプローブフォース顕微鏡による表面電位評価と内部構造との相関

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-C1-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1247

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

ダイヤモンド横型p-n接合についてケルビンプローブフォース顕微鏡による表面電位評価と内部構造との相関

*白田和也, 竹内大輔, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 山崎聡

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キーワード: 12a-C1-7, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, ダイヤモンド半導体, ケルビンプローブフォース顕微鏡

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