Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>の結晶多形 -基板と成長ガスの影響-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-A12-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4053

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Ga₂O₃の結晶多形 -基板と成長ガスの影響-

*赤沢方省

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キーワード: 19p-A12-12, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, Ga2O3, 結晶相, epitaxy

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