応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 17a-A13-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

原子状酸素照射によるSi含有DLC膜への影響
*遠藤 みなみ, 貴傳名 健吾, 今井 亮, 新部 正人, 横田 久美子, 田川 雅人, 古山 雄一, 神田 一浩
著者情報
キーワード: 17a-A13-9, ビーム応用, ビーム・光励起表面反応, 原子状酸素ビーム, ダイヤモンドライクカーボン膜, X線吸収分光
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