応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第60回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 29p-PB4-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

4H-SiC（0001）Si面上の局所的ステップバンチング発生原因の解析
*佐々木 雅之, 田村 謙太郎, 迫 秀樹, 北畠 真, 児島 一聡, 松畑 洋文
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キーワード: 29p-PB4-4, 結晶工学, IV族系化合物, 半導体
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