ゾルゲル法を用いたガラス基板上酸化亜鉛系透明薄膜トランジスタの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 27a-PB2-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1238

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

ゾルゲル法を用いたガラス基板上酸化亜鉛系透明薄膜トランジスタの作製

*佐々木悟, 前元利彦, 尾形健一, 佐々誠彦

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キーワード: 27a-PB2-18, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 酸化亜鉛

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