超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクスnc-Si面電子源の開発（II）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-C5-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1529

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクスnc-Si面電子源の開発（II）

*池上尚克, 吉田孝, 小島明, 大井英之, 越田信義, 江刺正喜

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キーワード: 12a-C5-8, ビーム応用, リソグラフィ, electron emitter, ナノクリスタルシリコン, 超並列電子線描画

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