機能性DLC膜の原子状酸素照射効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-C12-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1258

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

機能性DLC膜の原子状酸素照射効果

*福田和弘, 今井亮, 新部正人, 藤本晋嗣, 横田久美子, 田川雅人, 神田一浩

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キーワード: 14a-C12-8, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, DLC

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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