Si添加高水素DLC膜への原子状酸素照射による保護膜形成過程の衝突エネルギー依存

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-B6-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1685

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

Si添加高水素DLC膜への原子状酸素照射による保護膜形成過程の衝突エネルギー依存

*田川雅人, 横田久美子, 吉越章隆, 寺岡有殿

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キーワード: 18a-B6-1, ビーム応用, ビーム・光励起表面反応, DLC, Si, 原子状酸素

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