LiNbO<sub>3</sub>とLi<sub>2</sub>Oの同時スパッタで形成したLi<sub>2</sub>O-Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜中の相形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-D-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_974

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

LiNbO₃とLi₂Oの同時スパッタで形成したLi₂O-Nb₂O₅薄膜中の相形成

*赤沢方省

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キーワード: 30a-D-3, 薄膜・表面, 薄膜新材料, スパッタリング, ニオブ酸リチウム, 相形成

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