Ｗ触媒を用いたHラジカルの生成とSiウィスカー成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-P8-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_2566

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

Ｗ触媒を用いたHラジカルの生成とSiウィスカー成長

*小島実, 福田純子, 永吉浩

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キーワード: 15p-P8-11, 半導体A（シリコン）, 配線技術, 半導体

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