遊離砥粒を用いた超音波加工においては，さまざまな加工条件の変動が加工精度，加工効率などに影響を与える．本研究では，工具材として焼結ダイヤモンド(PCD)を用い，被削材として石英ガラス，ソーダガラスを用い，超音波加工における加工特性を調べた．その結果 (1) すべての工具直径において，石英ガラスでの加工速さはソーダガラスのそれの約0.5倍と小さくなる (2) 加工中には定常状態とクリアランス生成期の2つの状態が存在すると考えられる (3) ソーダガラスよりも石英ガラスを加工したときのほうが工具摩耗量は少ないことがわかった．
