Zusammenfassung
LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.
Abstract
LEDs are well known as environment-friendly lighting technology. The LED manufacturers are working on cost reduction and increased efficiency for mass implementation. Particularly the complex and crystalline LED layers on the wafers are critical. During the coating process (MOCVD) optical in-situ measuring instruments are used for monitoring the process. The present study investigates the influence of super-photoluminescence effects on a possible in-situ process control in the MOCVD.
Über die Autoren
M. Sc. Christoph Prall arbeitet seit Februar 2011 am Institut für Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West. Seine Schwerpunkte liegen in der berührungslosen optischen Messtechnik, insbesondere der Photolumineszenz-Spektroskopie, in der er als Projektmitarbeiter in einem Forschungskooperations-Projekt zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG tätig ist.
Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254408, Fax: +49-208-88254419
B. Sc. Ingo Noevermann ist Student des Masterstudiengangs – Systemtechnik – und unterstützt parallel die Arbeiten der Photolumineszenz-Spektroskopie an der Hochschule Ruhr West, zu dessen Thema er auch seine Abschlussarbeit im Studiengang B.Sc. Elektrotechnik verfasst hat (Photolumineszenzeffekte an Halbleiterkristallen).
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Prof. Dr. Dirk Rueter lehrt seit 2010 am Institut Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West in den Fachgebieten Bauelemente und Optoelektronik. Die Forschungsgebiete von Herrn Prof. Dr. Dirk Rueter liegen in der berührungslosen Messtechnik durch elektromagnetische, optische sowie Ultraschall-Verfahren. Er ist Projektleiter eines Forschungskooperations-Projekts zum Thema Photolumineszenzspektroskopie zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG.
Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254388, Fax: +49-208-88254419
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