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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2014

자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
김영식 ,  Angela Davies ,  이혁교 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.07 학술저널
파장주사 층밀리기 간섭계를 이용한 자유곡면의 삼차원형상 측정
김영식 ,  이혁교 ,  이주형 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.05 학술대회자료

2011

백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
김영식 ,  이윤우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
파장주사간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 절대 두께 측정
김영식 ,  Angela Davies ,  이윤우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

초록·키워드

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Scanning white-light interferometry is an important measurement option for many surfaces. However, serious profile measurement errors can be present when measuring free-form surfaces being highly curved or tilted. When the object surface slope is not zero, the object and reference rays are no longer common path and optical aberrations impact the measurement. Aberrations mainly occur at the beam splitter in the interference objective and from misalignment in the optical system. Both effects distort the white-light interference signal when the surface slope is not zero. In this paper, we describe a modified version of white-light interferometry for eliminating these measurement errors and improving the accuracy of white-light interferometry. Moreover, we report systematic errors that are caused by optical aberrations when the object is not flat, and compare our proposed method with the conventional processing algorithm using the random ball test.
#Scanning White Light Interferometry (백색광 주사 간섭계) #Free-form Surface (자유곡면) #Frequency Domain Analysis (주파수 영역 분석법) #Self-calibration Method (자가 보정 법) #System Bias Analysis (시스템 오차분석)

목차

1. 서론
2. 자유곡면형상 측정 시 발생하는 백색광 주사 간섭계의 측정 오차 분석
3. 주파수 영역 분석법을 이용한 백색광 주사간섭계의 정확도 향상
4. 자가 보정 법(Self-calibration Method)을 이용한 백색광 간섭계의 시스템 오차 분석
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (25)

참고문헌 신청
Flournoy, P. / 1972 / White-light Interferometric Thickness Gauge / Applied Optics 11(9):1907~1915 google schola Dresel, T. / 1992 / Three-dimensional Sensing of Rough Surfaces by Coher-ence Radar / Applied Optics 31(7):919~925 google schola Kim, S.-W. / 1999 / Thickness-profile Measurement of Transparent Thin-film Layers by White-light Scanning Interferometry / Applied Optics 38(28):5968~5973 google schola Ghim, Y.-S. / 2006 / Thin-film Thickness Profile and Its Refractive Index Measurements by Dispersive White-light Interferometry / Optics Express 14(24):11885~11891 google schola Ghim, Y.-S. / 2007 / Fast, Precise, Tomographic Measurements of Thin Films / Applied Physics Letters 91(9) google schola

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김기홍 ,  이득우 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05
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H.G. Rhee ,  Y.S. Ghim ,  H. P. Phan 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.05
Development of Wavelength Tunable External-Cavity Diode Laser by Considering the Pivot Point Location
김기철 ,  서용범 ,  김영식 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2017.07
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김영광 ,  이혁교 ,  김영식 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10

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