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저널정보

저자정보

  • 이용훈 (경북대학교)
  • 이황규 (경북대학교)
  • 김동민 (한국생산기술연구원)
  • 김태욱 (경북대학교)
  • 김지수 (경북대학교)
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초록·키워드

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This study investigated the Laser-Induced Plasma Backward Deposition (LIPBD) process for transparent glass-copper composite film production. LIPBD was compared with Laser-Induced Backward Transfer (LIBT). Controlling laser parameters and the z-axis position of Depth of focus (DOF) resulted in various post-deposition outcomes. The optimal deposition depth was 10 μm to 90 μm, ensuring good glass-copper adhesion. Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive spectroscopy (EDS) mapping confirmed copper and copper oxide (CuO) particles. X-ray diffraction confirmed Cu and CuO peaks. The adhesive test showed a strong binding between glass and deposition, but the parts of the cracks caused by heat accumulation were delaminated during the test. LIPBD offers controlled deposition potential for glass-copper composites. Optimizing laser parameters leads to high-quality films. This study provides valuable insights into nanotechnology and the semiconductor industry, with potential applications across diverse fields.
#Laser induced deposition (레이저 기반 증착 공정) #Mask-less copper pattern (마스크 없는 구리 패턴) #Laser induced plasma backward deposition (레이저 기반 플라스마 유도 역방향 증착)

목차

1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Del Rio, D. D. F., Sovacool, B. K., Foley, A. M., Griffiths, S., Bazilian, M., Kim, J., Rooney, D., (2022), Decarbonizing the glass industry: A critical and systematic review of developments, sociotechnical systems and policy options, Renewable and Sustai google schola Mehta, N., (2006), Applications of chalcogenide glasses in electronics and optoelectronics: A review. https://nopr.niscpr.res.in/handle/123456789/4967 google schola Liu, H., Lin, W., Hong, M., (2021), Hybrid laser precision engineering of transparent hard materials: Challenges, solutions and applications, Light: Science & Applications, 10(1), 162. google schola Esashi, M., Ono, T., (2005), From MEMS to nanomachine, Journal of Physics D: Applied Physics, 38(13), R223. google schola Liu, S., Shen, B., Hao, H., Zhai, J., (2019), Glass–ceramic dielectric materials with high energy density and ultra-fast discharge speed for high power energy storage applications, Journal of Materials Chemistry C, 7(48), 15118-15135. google schola

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