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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

P-기법을 이용한 터보분자펌프 로터의 구조해석 및 형상최적설계
원보름 ,  정해영 ,  한정삼 대한기계학회 논문집 A권 2013.10 학술저널

2012

P-기법을 이용한 터보분자펌프 로터의 구조해석 및 형상최적설계
원보름 ,  강현수 ,  한정삼 대한기계학회 춘추학술대회 2012.11 학술대회자료
P-기법을 통한 터보분자펌프 로터의 형상 변화에 따른 구조해석
원보름 ,  한정삼 대한기계학회 춘추학술대회 2012.05 학술대회자료

초록·키워드

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터보분자펌프는 회전하는 로터 블레이드의 고속회전을 통해 진공을 생성하는 고진공, 고청정 펌프로 로터의 고속회전에 따른 구조적 안전성이 우선 평가되어야 한다. 본 논문에서는 터보분자펌프의 배기성능 및 구조적 안전성에 영향을 미치는 인자 중에서 블레이드 각도, 길이, 블레이드가 시작되는 부분의 라운드 크기, 회전속도를 선정하여 그들의 변화에 대한 변위 및 응력 응답을 관찰하는 민감도 평가 및 최적설계를 수행하였다. 일반적인 유한요소해석기법인 H-기법이 아닌 형상요소해석기법인 P-기법을 사용함으로써 복잡한 형상의 유한요소생성 모델링 시간을 단축시켜 해석의 효율성을 높일 수 있었다.

In recent times, turbomolecular pumps (TMPs) have been used frequently to generate and maintain high and clean vacuum. Because of the high-speed rotation of the rotor, its structural safety should be treated as the first design concern. This paper presents the structural analysis and optimization of rotor blades of a TMP. To increase the numerical efficiency in the finite element modeling and analysis, the P-method provided in Pro/ENGINEER was used for simulation. The structural responses for several types of rotor blades were investigated, and the effects of the blade angle, blade length, and round size are thoroughly studied for each type of TMP blade. In addition, structural optimization to reduce and even the maximum stress at each stage of the TMP by changing the size of rounds between the blade and the hub was performed very successfully by using the P-method.
#Turbomolecular Pump(터보분자펌프) #P-method(P-기법) #Rotor Blade(로터 블레이드) #Structural Analysis(구조해석) #Optimum Design(최적설계)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. TMP 의 구조해석 및 최적설계
3. P-기법을 이용한 구조해석
4. 최적설계
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 강상백 / 2010 / 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 고찰 / 한국진공학회지 19 (4) : 249 ~ 255 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - Lee, W. Y / 2002 / Analysis for Design of a High Vacuum Turbomolecular Pump / Jounal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology 1 (1) : 41 ~ 45 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Henning, J / 1988 / Thirty years of turbomolecular pumps: A review and recent developments / Journal of Vacuum Science & Technology A 6 (3) : 1196 ~ 1201 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - In, S. R / 2000 / Quasi-quantitative estimation on backstreaming characteristics of a turbomolecular pump / Korea Atomic Energy Research Institute 10 (1) : 1 ~ 8 google schola 5. [학술대회논문] - Cho, S. R / 2004 / Magnetic Bearing System for Turbo-Molecular / Trans. Korean Soc. Mech. Eng : 760 ~ 765 google schola

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