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이 논문의 연구 히스토리 (3)

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Most of the MEMS parts are made of multi-grain silicon wafer, which is the orthotropic material and its material direction is arbitrary. The reliability of the parts must be guaranteed in order to use for the commercial usage. The need of the structural analysis of its parts emerges an important factor. The material properties of the MEMS parts are calculated by the numerical method in order to reduce a material test. In this study, the effective elastic modulus and its Poisson’s ratio are calculated by the boundary element method(BEM) and are compared with the results by the finite element method(FEM).

목차

Abstract
1. 서론
2. 직교이방성 재료의 경계 적분방정식
3. 다결정 경계요소법과 불연속 경계요소 모델링
4. 유효탄성계수 및 유효 푸아송비 추출
5. 결론
후기
참고문헌

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