真空
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技術メモ
外径70 mm のコンフラットフランジにマウントしたミニチュア電子・イオン・軟 X 線検出器の製作
藤田 斉彦間瀬 一彦
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2007 年 50 巻 9 号 p. 583-585

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抄録

  We introduce a miniature electron/ion/soft-X-ray detector mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of an extraction/retarding electrode, microchannel plates, and a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. This detector can be used for measurements of electrons, ions, or soft-X-rays generated in the gas phase and those emitted from surfaces.

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© 2007 日本真空協会
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