非球面ミラーの加工技術についてEUVLカメラに使用されるミラーを中心にその概要を示した.
非球面成分のあまり大きくないEUVL用ミラーの場合研磨工程を基本に, 高精度な形状計測と安定な単位除去形状をもとにしたデロンボリューションによる形状創生が行われ, サブnmレベルの形状精度を実現するに至った.しかし研磨過程そのものに依存する高周波成分および研磨ヘッド等の特性の影響を強く受ける中間周波数成分の誤差がまだ十分に小さくなっておらず, 今後はこれらの空間波長領域の表面粗さの改善が必要になっている.また, このような高精度の加工にはそれを正確に評価できる, より高精度の計測手法の確立が不可欠で, 両者がそろって準備されなければならない.
