Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit (German)
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2009
- Theses / Electronic Resource
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Title:Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit
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Contributors:
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Dissertation:Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009
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Publisher:
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Place of publication:Dresden
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Publication date:2009
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Size:Online-Ressource (138 S., 6,16 MB)
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Remarks:graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 13N9082. - Verbund-Nr. 01050107
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DOI:
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Type of media:Theses
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:13N9082, 01050107
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Source: