题名：碳化硅智能制造系统综述

作者：于凯;王利杰;刘金鑫;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19769/j.zdhy.2021.03.005

注册时间：2021-08-11 11:10:33

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